抛光机操作的关键是要设法得到最大的抛光速率,以便赶快除去磨光时发生的损害层。一起也要使抛光损害层不会影响最终观察到的安排,即不会构成假安排。前者请求运用较粗的磨料,以确保有较大的抛光速率来去掉磨光的损害层,但抛光损害层也较深;后者请求运用最细的材料,使抛光损害层较浅,但抛光速率低。